Методы балансировки ротора турбомолекулярного насоса для минимизации вибраций

Балансировка ротора является критически важным аспектом в обеспечении стабильной и надежной работы турбомолекулярного насоса. Высокие скорости вращения ротора, достигающие десятков тысяч оборотов в минуту, могут привести к возникновению вибраций, которые негативно влияют на производительность насоса срок его службы. Для минимизации вибраций применяются различные методы балансировки ротора, учитывающие особенности конструкции и требования к точности балансировки. К слову, заказать турбомолекулярные насосы https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/ сегодня легко можно на сайтах специализированных компаний.

Динамическая балансировка и другие методы

Один из наиболее распространенных методов — это динамическая балансировка. При этом методе ротор насоса устанавливается на специальный балансировочный станок, который измеряет амплитуду и фазу вибраций при различных скоростях вращения. На основе полученных данных рассчитывается величина и местоположение корректирующих масс, которые добавляются на ротор для компенсации дисбаланса. Точность динамической балансировки может достигать 0,1 гмм/кг, что обеспечивает снижение вибраций до допустимых значений.

Другой метод — это статическая балансировка, которая проводится на неподвижном роторе. При этом методе ротор устанавливается на две параллельные призмы и выравнивается таким образом, чтобы его центр масс совпадал с осью вращения. Корректирующие массы добавляются в плоскости коррекции до достижения равновесия ротора. Статическая балансировка применяется для роторов с относительно низкими требованиями к точности, например, для насосов с невысокими скоростями вращения.

Для роторов с высокими требованиями к точности балансировки, например, для турбомолекулярных насосов в полупроводниковой промышленности, применяется метод балансировки в собственных опорах. При этом методе ротор балансируется непосредственно в насосе, что позволяет учесть влияние жесткости опор и других факторов на вибрационное состояние ротора. Балансировка в собственных опорах проводится с использованием специальных датчиков вибрации и автоматизированных систем управления, обеспечивая точность до 0,05 гмм/кг.